Красовицкий, Дмитрий Михайлович. - Закономерности пиролиза аммиакатов трихлоридов галлия и индия в процессе осаждения слоев GaN, InN In x Ga1-x N : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Санкт-Петербургский гос. техн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 18 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Красовицкий, Дмитрий Михайлович.
Закономерности пиролиза аммиакатов трихлоридов галлия и индия в процессе осаждения слоев GaN, InN In x Ga1-x N : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Санкт-Петербургский гос. техн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 18 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Закономерности пиролиза аммиакатов трихлоридов галлия и индия в процессе осаждения слоев GaN, InN In x Ga1-x N : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Санкт-Петербургский гос. техн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 18 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 98-7/3462-0
FB 9 98-7/3463-9
Описание
Автор | Красовицкий, Дмитрий Михайлович |
---|---|
Заглавие | Закономерности пиролиза аммиакатов трихлоридов галлия и индия в процессе осаждения слоев GaN, InN In x Ga1-x N : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 10.03.1999 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 01.04.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Санкт-Петербургский гос. техн. ун-т |
Выходные данные | Санкт-Петербург, 1998 |
Физическое описание | 18 с. |
Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
BBK-код | З844.13-060.7-1,0 |
З843.310.8,0 | |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 98-7/3462-0 |
FB 9 98-7/3463-9 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |