Красовицкий, Дмитрий Михайлович. - Закономерности пиролиза аммиакатов трихлоридов галлия и индия в процессе осаждения слоев GaN, InN In x Ga1-x N : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Санкт-Петербургский гос. техн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 18 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Красовицкий, Дмитрий Михайлович.
Красовицкий, Дмитрий Михайлович.
Закономерности пиролиза аммиакатов трихлоридов галлия и индия в процессе осаждения слоев GaN, InN In x Ga1-x N : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Санкт-Петербургский гос. техн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 18 с.

Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 98-7/3462-0
FB 9 98-7/3463-9

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеЗакономерности пиролиза аммиакатов трихлоридов галлия и индия в процессе осаждения слоев GaN, InN In x Ga1-x N : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 10.03.1999
Дата поступления в ЭБ РГБ 01.04.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиСанкт-Петербургский гос. техн. ун-т
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1998
Физическое описание18 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ844.13-060.7-1,0
З843.310.8,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-7/3462-0
FB 9 98-7/3463-9
Электронный адрес Электронный ресурс