Лепшин, Павел Анатольевич. - Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1999. - 19 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Лепшин, Павел Анатольевич.
Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1999. - 19 с.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 99-5/1125-X
FB 9 99-5/1126-8

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 24.11.1999
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1999
Физическое описание19 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодВ379.225,03
В379.227,03
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 99-5/1125-X
FB 9 99-5/1126-8