Лепшин, Павел Анатольевич. - Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1999. - 19 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Лепшин, Павел Анатольевич.
Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1999. - 19 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1999. - 19 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 99-5/1125-X
FB 9 99-5/1126-8
Описание
Автор | Лепшин, Павел Анатольевич |
---|---|
Заглавие | Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 24.11.1999 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Выходные данные | Москва, 1999 |
Физическое описание | 19 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | В379.225,03 |
В379.227,03 | |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 99-5/1125-X |
FB 9 99-5/1126-8 |