Суворинов, Александр Владимирович - Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07

Карточка

Суворинов, Александр Владимирович.

Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07 / НИИ перспективных материалов и технологий. - Москва, 1998. - 34 с.
Оборудование производства электронной техники
FB 9 98-8/1316-4
FB 9 98-8/1317-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазвитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07
Дата поступления в ЭК 19.04.1999
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ перспективных материалов и технологий
Выходные данныеМосква, 1998
Физическое описание34 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
BBK-кодЗ844.152-082.051-5-01,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-8/1316-4
FB 9 98-8/1317-2