Резвый, Ростислав Ростиславович - Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 01.04.10

Карточка

Резвый, Ростислав Ростиславович.
Резвый, Ростислав Ростиславович.

Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 01.04.10. - Москва, 1998. - 65 с. : ил.; 20х15 см.
Физика полупроводников и диэлектриков
OD 71 99-5/601-5

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 01.04.10
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 23.11.1999
Дата поступления в ЭБ 15.01.2015
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1998
Физическое описание65 с. : ил.; 20х15 см
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 99-5/601-5
Электронный адрес Электронный ресурс