Малявка, Лариса Васильевна - Свойства дефектов и процессы дефектообразования в ионно-имплантированных структурах Si-SiO2 : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Малявка, Лариса Васильевна.
Малявка, Лариса Васильевна.

Свойства дефектов и процессы дефектообразования в ионно-имплантированных структурах Si-SiO2 : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1999. - 165 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
OD 61 99-1/907-6

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСвойства дефектов и процессы дефектообразования в ионно-имплантированных структурах Si-SiO2 : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 26.11.1999
Дата поступления в ЭБ 11.03.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1999
Физическое описание165 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.222,03
В379.271.5,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-1/907-6
Электронный адрес Электронный ресурс