Лепшин, Павел Анатольевич. - Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Ярославль, 1999. - 150 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Лепшин, Павел Анатольевич.
Лепшин, Павел Анатольевич.
Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Ярославль, 1999. - 150 с. : ил.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
OD 61 99-1/1075

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 21.12.1999
Дата поступления в ЭБ РГБ 12.09.2014
Каталоги Диссертации
Выходные данныеЯрославль, 1999
Физическое описание150 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодВ379.225,03
В379.227,03
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-1/1075
Электронный адрес Электронный ресурс