Лепшин, Павел Анатольевич. - Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Ярославль, 1999. - 150 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Лепшин, Павел Анатольевич.
Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Ярославль, 1999. - 150 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Ярославль, 1999. - 150 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
OD 61 99-1/1075
Описание
Автор | Лепшин, Павел Анатольевич |
---|---|
Заглавие | Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 21.12.1999 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 12.09.2014 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Ярославль, 1999 |
Физическое описание | 150 с. : ил. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | В379.225,03 |
В379.227,03 | |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 99-1/1075 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |