Чумаков, Сергей Николаевич. - Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.20 / Ин-т ядерной физики им. Г. И. Будкера РАН. - Новосибирск, 1999. - 10 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Чумаков, Сергей Николаевич.
Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.20 / Ин-т ядерной физики им. Г. И. Будкера РАН. - Новосибирск, 1999. - 10 с.

Физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника
Шифр хранения:
FB 9 00-3/137-8
FB 9 00-3/138-6

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИонный имплантер на средние энергии для технологических целей : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.20
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 23.01.1980
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т ядерной физики им. Г. И. Будкера РАН
Выходные данныеНовосибирск, 1999
Физическое описание10 с.
ТемаФизика пучков заряженных частиц и ускорительная техника
BBK-кодЖ614-5,0
Специальность01.04.20: Физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 00-3/137-8
FB 9 00-3/138-6