Сауров, Александр Николаевич. - Методы самоформирования в микроэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. - Москва, 1999. - 323 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Сауров, Александр Николаевич.
Методы самоформирования в микроэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. - Москва, 1999. - 323 с. : ил.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
OD 71 00-0/23

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМетоды самоформирования в микроэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 14.04.2000
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1999
Физическое описание323 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 00-0/23