Тюнина, Марина Анатольевна - Модификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07

Карточка

Тюнина, Марина Анатольевна.

Модификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Рига, 1993. - 163 с. : ил.
Физика твердого тела
OD 61 94-1/108-X

Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМодификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Дата поступления в ЭК 31.03.2000
Каталоги Диссертации
Выходные данныеРига, 1993
Физическое описание163 с. : ил.
ТемаФизика твердого тела
BBK-кодВ379.227,03
В379.225с1,03
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-1/108-X