Тюнина, Марина Анатольевна - Модификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07

Экспресс-заказ фрагмента
Тюнина, Марина Анатольевна.
Модификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Рига, 1993. - 163 с. : ил.

Физика твердого тела
Шифр хранения:
OD 61 94-1/108-X

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМодификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 31.03.2000
Каталоги Диссертации
Выходные данныеРига, 1993
Физическое описание163 с. : ил.
ТемаФизика твердого тела
BBK-кодВ379.227,03
В379.225с1,03
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-1/108-X