Петрухин, Владимир Викторович - Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.13.07

Карточка

Петрухин, Владимир Викторович.

Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.13.07 / Техн. ун-т. - Москва, 1999. - 22 с.
Автоматизированные системы управления
Автоматизация технологических процессов и производств (в том числе по отраслям)
FB 9 00-3/821-6
FB 9 00-3/822-4

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАлгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.13.07
Дата поступления в ЭК 24.07.2000
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиТехн. ун-т
Выходные данныеМосква, 1999
Физическое описание22 с.
ТемаАвтоматизированные системы управления
Автоматизация технологических процессов и производств (в том числе по отраслям)
BBK-кодЗ844.13-06-1с116,0
Специальность05.13.06: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 00-3/821-6
FB 9 00-3/822-4