Петрухин, Владимир Викторович. - Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.13.07 / Техн. ун-т. - Москва, 1999. - 22 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Петрухин, Владимир Викторович.
Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.13.07 / Техн. ун-т. - Москва, 1999. - 22 с.
Автоматизированные системы управления
Автоматизация технологических процессов и производств (в том числе по отраслям)
Шифр хранения:
Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.13.07 / Техн. ун-т. - Москва, 1999. - 22 с.
Автоматизированные системы управления
Автоматизация технологических процессов и производств (в том числе по отраслям)
Шифр хранения:
FB 9 00-3/821-6
FB 9 00-3/822-4
Описание
Автор | Петрухин, Владимир Викторович |
---|---|
Заглавие | Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.13.07 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 24.07.2000 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Техн. ун-т |
Выходные данные | Москва, 1999 |
Физическое описание | 22 с. |
Тема | Автоматизированные системы управления |
Автоматизация технологических процессов и производств (в том числе по отраслям) | |
BBK-код | З844.13-06-1с116,0 |
Специальность | 05.13.06: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям) |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 00-3/821-6 |
FB 9 00-3/822-4 |