Емельянов, Владимир Васильевич - Моделирование кинетики испарения летучего компонента из конденсированной фазы : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Емельянов, Владимир Васильевич.
Емельянов, Владимир Васильевич.

Моделирование кинетики испарения летучего компонента из конденсированной фазы : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Воронеж. гос. техн. ун-т. - Воронеж, 2000. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 01-1/3086-X

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование кинетики испарения летучего компонента из конденсированной фазы : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 25.07.2000
Дата поступления в ЭБ 02.07.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиВоронеж. гос. техн. ун-т
Выходные данныеВоронеж, 2000
Физическое описание15 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодВ365.514с31,03
В375.144с31,03
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 01-1/3086-X
Электронный адрес Электронный ресурс