Воробьев, Владимир Александрович - Материаловедческие аспекты разработки материалов для диэлектрических слоев ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Воробьев, Владимир Александрович.
Воробьев, Владимир Александрович.

Материаловедческие аспекты разработки материалов для диэлектрических слоев ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2001. - 26 c. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМатериаловедческие аспекты разработки материалов для диэлектрических слоев ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 01.12.2008
Дата поступления в ЭБ 02.10.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 2001
Физическое описание26 c. : ил
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс