Железный, Сергей Владимирович - Влияние импульсного светового воздействия на физические свойства приповерхностных слоев полупроводников : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Железный, Сергей Владимирович.
Железный, Сергей Владимирович.

Влияние импульсного светового воздействия на физические свойства приповерхностных слоев полупроводников : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Воронеж, 1999. - 133 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 61 99-5/1285-7

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние импульсного светового воздействия на физические свойства приповерхностных слоев полупроводников : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 05.01.1980
Дата поступления в ЭБ 23.04.2003
Каталоги Диссертации
Выходные данныеВоронеж, 1999
Физическое описание133 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 99-5/1285-7
Электронный адрес Электронный ресурс