Ивановский, П. Г. - Исследование и разработка технологических процессов формирования коммутирующей разводки на приборах КМДП КНС БИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Ивановский, П. Г.

Исследование и разработка технологических процессов формирования коммутирующей разводки на приборах КМДП КНС БИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1990. - 157 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 61 94-0/16-X

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка технологических процессов формирования коммутирующей разводки на приборах КМДП КНС БИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 17.07.2000
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание157 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.6-64,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-0/16-X