Сытов, И. П. - Моделирование процесса фотостимулированного травления кремния в среде хлора : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Сытов, И. П.

Моделирование процесса фотостимулированного травления кремния в среде хлора : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Минск, 1993. - 238 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 61 94-0/4-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование процесса фотостимулированного травления кремния в среде хлора : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 31.08.2000
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМинск, 1993
Физическое описание238 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.6-1,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 94-0/4-6