Нефедов, Александр Сергеевич - Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Нефедов, Александр Сергеевич.
Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Южно-Рос. гос. технич. ун-т. - Новочеркасск, 2000. - 19 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Южно-Рос. гос. технич. ун-т. - Новочеркасск, 2000. - 19 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 00-5/1037-6
FB 9 00-5/1038-4
Описание
Автор | Нефедов, Александр Сергеевич |
---|---|
Заглавие | Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 08.09.2000 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 02.07.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Южно-Рос. гос. технич. ун-т |
Выходные данные | Новочеркасск, 2000 |
Физическое описание | 19 с. |
Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
BBK-код | З844.14-060.7-642,0 |
З843.322.408-642,0 | |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 00-5/1037-6 |
FB 9 00-5/1038-4 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |