Нефедов, Александр Сергеевич - Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Нефедов, Александр Сергеевич.
Нефедов, Александр Сергеевич.

Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Южно-Рос. гос. технич. ун-т. - Новочеркасск, 2000. - 19 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 00-5/1037-6
FB 9 00-5/1038-4

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПолучение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 08.09.2000
Дата поступления в ЭБ 02.07.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЮжно-Рос. гос. технич. ун-т
Выходные данныеНовочеркасск, 2000
Физическое описание19 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ844.14-060.7-642,0
З843.322.408-642,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 00-5/1037-6
FB 9 00-5/1038-4
Электронный адрес Электронный ресурс