Середин, Лев Михайлович - Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Середин, Лев Михайлович.
Середин, Лев Михайлович.

Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Южно-Рос. гос. технич. ун-т. - Новочеркасск, 2000. - 20 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 00-3/867-4
FB 9 00-3/868-2

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОсновы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 21.09.2000
Дата поступления в ЭБ 02.07.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЮжно-Рос. гос. технич. ун-т
Выходные данныеНовочеркасск, 2000
Физическое описание20 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ843.322.408-642,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 00-3/867-4
FB 9 00-3/868-2
Электронный адрес Электронный ресурс