Гайнуллина, Наталья Романовна - Анализ и оптимизация фотолиграфических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21

Карточка

Гайнуллина, Наталья Романовна.
Гайнуллина, Наталья Романовна.

Анализ и оптимизация фотолиграфических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21. - Казань, 1998. - 18 c. : ил.
Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАнализ и оптимизация фотолиграфических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 10.12.2007
Дата поступления в ЭБ 16.11.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеКазань, 1998
Физическое описание18 c. : ил
ТемаРадиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс