Обвинцев, Олег Александрович. - Повышение качества поверхности полупроводникового кремния при лезвийной обработке с помощью дополнительного деформирования срезаемого слоя : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01 / Уральский гос. технич. ун-т. - Екатеринбург, 1999. - 19 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Обвинцев, Олег Александрович.
Повышение качества поверхности полупроводникового кремния при лезвийной обработке с помощью дополнительного деформирования срезаемого слоя : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01 / Уральский гос. технич. ун-т. - Екатеринбург, 1999. - 19 с.
Процессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент
Шифр хранения:
Повышение качества поверхности полупроводникового кремния при лезвийной обработке с помощью дополнительного деформирования срезаемого слоя : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01 / Уральский гос. технич. ун-т. - Екатеринбург, 1999. - 19 с.
Процессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент
Шифр хранения:
DSP Др 99/95
Описание
| Автор | Обвинцев, Олег Александрович |
|---|---|
| Заглавие | Повышение качества поверхности полупроводникового кремния при лезвийной обработке с помощью дополнительного деформирования срезаемого слоя : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 15.06.2000 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 12.09.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Уральский гос. технич. ун-т |
| Выходные данные | Екатеринбург, 1999 |
| Физическое описание | 19 с. |
| Тема | Процессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент |
| BBK-код | Л253.2-1,0 |
| Язык | Русский |
| Места хранения | DSP Др 99/95 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
