Обвинцев, Олег Александрович. - Повышение качества поверхности полупроводникового кремния при лезвийной обработке с помощью дополнительного деформирования срезаемого слоя : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01 / Уральский гос. технич. ун-т. - Екатеринбург, 1999. - 19 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Обвинцев, Олег Александрович.
Обвинцев, Олег Александрович.
Повышение качества поверхности полупроводникового кремния при лезвийной обработке с помощью дополнительного деформирования срезаемого слоя : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01 / Уральский гос. технич. ун-т. - Екатеринбург, 1999. - 19 с.

Процессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент
Шифр хранения:
DSP Др 99/95

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПовышение качества поверхности полупроводникового кремния при лезвийной обработке с помощью дополнительного деформирования срезаемого слоя : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 15.06.2000
Дата поступления в ЭБ РГБ 12.09.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиУральский гос. технич. ун-т
Выходные данныеЕкатеринбург, 1999
Физическое описание19 с.
ТемаПроцессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент
BBK-кодЛ253.2-1,0
ЯзыкРусский
Места храненияDSP Др 99/95
Электронный адрес Электронный ресурс