Коба, Игорь Михайлович - Математическое моделирование процессов экспонирования и проявления в рентгеновской литографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Экспресс-заказ фрагмента
Коба, Игорь Михайлович.
Коба, Игорь Михайлович.
Математическое моделирование процессов экспонирования и проявления в рентгеновской литографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1991. - 24 с. : ил.

Твердотельная электроника и микроэлектроника

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМатематическое моделирование процессов экспонирования и проявления в рентгеновской литографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 31.10.2008
Дата поступления в ЭБ РГБ 29.09.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1991
Физическое описание24 с. : ил
ТемаТвердотельная электроника и микроэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс