Боженов, Александр Вячеславович - Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Боженов, Александр Вячеславович.

Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. гос. ин-т стали и сплавов. - Москва, 2001. - 25 с.
Физика полупроводников
FB 9 01-1/3310-9
FB 9 01-1/3311-7

Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМеханизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 25.07.2001
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. гос. ин-т стали и сплавов
Выходные данныеМосква, 2001
Физическое описание25 с.
ТемаФизика полупроводников
BBK-кодВ379.251,03
В379.271.5,03
З843.390.8-1,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 01-1/3310-9
FB 9 01-1/3311-7