Дьячков, Сергей Александрович - Разработка и исследование технологических процессов анодного сращивания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Дьячков, Сергей Александрович.
Дьячков, Сергей Александрович.

Разработка и исследование технологических процессов анодного сращивания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2000. - 150 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 61 01-5/1178-X

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование технологических процессов анодного сращивания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 29.05.2001
Дата поступления в ЭБ 23.05.2011
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 2000
Физическое описание150 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 01-5/1178-X
Электронный адрес Электронный ресурс