Матюшкин, Игорь Валерьевич - Математическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18

Карточка

Матюшкин, Игорь Валерьевич.
Матюшкин, Игорь Валерьевич.

Математическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18. - Долгопрудный, 2000. - 122 с.
Теоретические основы математического моделирования, численные методы и комплексы программ
OD 61 01-1/348-7

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМатематическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 16.02.2001
Дата поступления в ЭБ 03.03.2010
Каталоги Диссертации
Выходные данныеДолгопрудный, 2000
Физическое описание122 с.
ТемаТеоретические основы математического моделирования, численные методы и комплексы программ
Специальность05.13.18: Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 01-1/348-7
Электронный адрес Электронный ресурс