Матюшкин, Игорь Валерьевич - Математическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18

Матюшкин, Игорь Валерьевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Матюшкин, Игорь Валерьевич.
Математическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18. - Долгопрудный, 2000. - 122 с.

Теоретические основы математического моделирования, численные методы и комплексы программ
Шифр хранения:
OD 61 01-1/348-7

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМатематическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЕЭК 16.02.2001
Дата поступления в ЭБ 03.03.2010
Каталоги Диссертации
Выходные данныеДолгопрудный, 2000
Физическое описание122 с.
ТемаТеоретические основы математического моделирования, численные методы и комплексы программ
Специальность05.13.18: Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 01-1/348-7
Электронный адрес Электронный ресурс