Мирсаетов, Олег Марсимович - Разработка методов формирования и защиты поверхности токопроводящих слоев для неразъемных соединений элементов микроэлектронных приборов : диссертация ... кандидата технических наук в форме науч. докл. : 01.04.01, 05.11.14

Мирсаетов, Олег Марсимович.
Мирсаетов, Олег Марсимович.
Разработка методов формирования и защиты поверхности токопроводящих слоев для неразъемных соединений элементов микроэлектронных приборов : диссертация ... кандидата технических наук в форме науч. докл. : 01.04.01, 05.11.14. - Ижевск, 2000. - 48 с.; 20х15 см.

Техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований
Технология приборостроения
Шифр хранения:
OD 61 01-5/1582-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка методов формирования и защиты поверхности токопроводящих слоев для неразъемных соединений элементов микроэлектронных приборов : диссертация ... кандидата технических наук в форме науч. докл. : 01.04.01, 05.11.14
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 18.04.2001
Дата поступления в ЭБ 24.05.2011
Каталоги Диссертации
Выходные данныеИжевск, 2000
Физическое описание48 с.; 20х15 см
ТемаТехника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований
Технология приборостроения
Специальность01.04.01: Приборы и методы экспериментальной физики
05.11.14: Технология приборостроения
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 01-5/1582-3
Электронный адрес Электронный ресурс