Коваль, Юрий Иванович - Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Экспресс-заказ фрагмента
Коваль, Юрий Иванович.
Коваль, Юрий Иванович.
Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 1993. - 18 с. : ил.

Твердотельная электроника и микроэлектроника

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 01.02.2008
Дата поступления в ЭБ РГБ 29.01.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеЧерноголовка, 1993
Физическое описание18 с. : ил
ТемаТвердотельная электроника и микроэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс