Козлитин, Алексей Иванович - Моделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Козлитин, Алексей Иванович.
Экспресс-заказ фрагмента
Козлитин, Алексей Иванович.
Моделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1994. - 34 с. : ил.

Твердотельная электроника и микроэлектроника

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 18.06.2008
Дата поступления в ЭБ 03.06.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание34 с. : ил
ТемаТвердотельная электроника и микроэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс