Козлитин, Алексей Иванович - Моделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Козлитин, Алексей Иванович.
Козлитин, Алексей Иванович.

Моделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1994. - 34 c. : ил.
Твердотельная электроника и микроэлектроника

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 18.06.2008
Дата поступления в ЭБ 03.06.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание34 c. : ил
ТемаТвердотельная электроника и микроэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс