Кононенко, Евгений Константинович. - Исследование и разработка технологии получения кварцевых тиглей и крупногабаритных изделий на основе синтетического диоксида кремния диаметром более 300 мм : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1991. - 26 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Кононенко, Евгений Константинович.
Исследование и разработка технологии получения кварцевых тиглей и крупногабаритных изделий на основе синтетического диоксида кремния диаметром более 300 мм : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1991. - 26 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Исследование и разработка технологии получения кварцевых тиглей и крупногабаритных изделий на основе синтетического диоксида кремния диаметром более 300 мм : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1991. - 26 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Описание
Автор | Кононенко, Евгений Константинович |
---|---|
Заглавие | Исследование и разработка технологии получения кварцевых тиглей и крупногабаритных изделий на основе синтетического диоксида кремния диаметром более 300 мм : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 04.12.2008 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 02.10.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Выходные данные | Москва, 1991 |
Физическое описание | 26 с. : ил |
Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Электронный адрес | Электронный ресурс |