Кононенко, Евгений Константинович - Исследование и разработка технологии получения кварцевых тиглей и крупногабаритных изделий на основе синтетического диоксида кремния диаметром более 300 мм : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Кононенко, Евгений Константинович.
Кононенко, Евгений Константинович.

Исследование и разработка технологии получения кварцевых тиглей и крупногабаритных изделий на основе синтетического диоксида кремния диаметром более 300 мм : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1991. - 26 c. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка технологии получения кварцевых тиглей и крупногабаритных изделий на основе синтетического диоксида кремния диаметром более 300 мм : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 04.12.2008
Дата поступления в ЭБ 02.10.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1991
Физическое описание26 c. : ил
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс