Ивин, Владимир Владимирович - Исследование перспективных фотолитографических процессов с суб-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Ивин, Владимир Владимирович.
Ивин, Владимир Владимирович.

Исследование перспективных фотолитографических процессов с суб-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 2000. - 146 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 61 01-1/294-4

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование перспективных фотолитографических процессов с суб-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 04.07.2001
Дата поступления в ЭБ 01.04.2011
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 2000
Физическое описание146 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 01-1/294-4
Электронный адрес Электронный ресурс