Громов, Дмитрий Геннадьевич - Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06

Карточка

Громов, Дмитрий Геннадьевич.
Громов, Дмитрий Геннадьевич.

Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - Москва, 2000. - 271 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
OD 71 01-5/460-X

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМатериалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 23.04.2001
Дата поступления в ЭБ 29.04.2013
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 2000
Физическое описание271 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 01-5/460-X
Электронный адрес Электронный ресурс