Краснобаев, Леонид Яковлевич - Влияние имплантации галогенов на электрофизические свойства и процессы в монокристаллическом кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Краснобаев, Леонид Яковлевич.
Краснобаев, Леонид Яковлевич.

Влияние имплантации галогенов на электрофизические свойства и процессы в монокристаллическом кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 1992. - 23 c. : ил.
Твердотельная электроника и микроэлектроника

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние имплантации галогенов на электрофизические свойства и процессы в монокристаллическом кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 24.11.2008
Дата поступления в ЭБ 01.10.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеЧерноголовка, 1992
Физическое описание23 c. : ил
ТемаТвердотельная электроника и микроэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс