Краснобаев, Леонид Яковлевич. - Влияние имплантации галогенов на электрофизические свойства и процессы в монокристаллическом кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 1992. - 23 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Краснобаев, Леонид Яковлевич.
Краснобаев, Леонид Яковлевич.
Влияние имплантации галогенов на электрофизические свойства и процессы в монокристаллическом кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 1992. - 23 с. : ил.

Твердотельная электроника и микроэлектроника

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние имплантации галогенов на электрофизические свойства и процессы в монокристаллическом кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 24.11.2008
Дата поступления в ЭБ РГБ 01.10.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеЧерноголовка, 1992
Физическое описание23 с. : ил
ТемаТвердотельная электроника и микроэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс