Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич - Разработка литографических методов спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01

Карточка

Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич.
Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич.

Разработка литографических методов спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01. - Москва, 1997. - 38 c. : ил.
Твердотельная электроника и микроэлектроника

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка литографических методов спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 01.07.2008
Дата поступления в ЭБ 25.06.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание38 c. : ил
ТемаТвердотельная электроника и микроэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс