Кузнецов, Андрей Юрьевич - Генерация собственных точечных дефектов в кремнии в процессе образования силицидов металлов на поверхности кристалла : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Кузнецов, Андрей Юрьевич.
Кузнецов, Андрей Юрьевич.

Генерация собственных точечных дефектов в кремнии в процессе образования силицидов металлов на поверхности кристалла : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 1992. - 24 c. : ил.
Твердотельная электроника и микроэлектроника

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеГенерация собственных точечных дефектов в кремнии в процессе образования силицидов металлов на поверхности кристалла : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 17.10.2008
Дата поступления в ЭБ 11.09.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеЧерноголовка, 1992
Физическое описание24 c. : ил
ТемаТвердотельная электроника и микроэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс