Кузьмичев, Андрей Валентинович. - Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21. - Москва, 1995. - 23 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Кузьмичев, Андрей Валентинович.
Кузьмичев, Андрей Валентинович.
Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21. - Москва, 1995. - 23 с. : ил.

Лазерная физика

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 11.03.2008
Дата поступления в ЭБ РГБ 27.02.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание23 с. : ил
ТемаЛазерная физика
Специальность01.04.21: Лазерная физика
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс