Кузьмичев, Андрей Валентинович - Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21

Карточка

Кузьмичев, Андрей Валентинович.
Кузьмичев, Андрей Валентинович.

Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21. - Москва, 1995. - 23 c. : ил.
Лазерная физика

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 11.03.2008
Дата поступления в ЭБ 27.02.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание23 c. : ил
ТемаЛазерная физика
Специальность01.04.21: Лазерная физика
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс