Семенова, Ольга Васильевна - Прецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01

Экспресс-заказ фрагмента
Семенова, Ольга Васильевна.
Прецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01 / Красноярский гос. техн. ун-т. - Красноярск, 2000. - 23 с.

Процессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент
Шифр хранения:
FB 9 00-4/3671-0
FB 9 00-4/3672-9

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПрецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 29.01.2001
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиКрасноярский гос. техн. ун-т
Выходные данныеКрасноярск, 2000
Физическое описание23 с.
ТемаПроцессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 00-4/3671-0
FB 9 00-4/3672-9