Семенова, Ольга Васильевна - Прецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01

Карточка

Семенова, Ольга Васильевна.

Прецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01 / Красноярский гос. техн. ун-т. - Красноярск, 2000. - 23 с.
Процессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент
FB 9 00-4/3671-0
FB 9 00-4/3672-9

Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПрецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01
Дата поступления в ЭК 29.01.2001
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиКрасноярский гос. техн. ун-т
Выходные данныеКрасноярск, 2000
Физическое описание23 с.
ТемаПроцессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 00-4/3671-0
FB 9 00-4/3672-9