Лебедев, Сергей Владимирович - Совершенствование изоляции и уменьшения токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Лебедев, Сергей Владимирович.
Экспресс-заказ фрагмента
Лебедев, Сергей Владимирович.
Совершенствование изоляции и уменьшения токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1997. - 21 с. : ил.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСовершенствование изоляции и уменьшения токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 19.05.2008
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание21 с. : ил
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс