Лебедев, Сергей Владимирович - Совершенствование изоляции и уменьшения токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Лебедев, Сергей Владимирович.
Лебедев, Сергей Владимирович.

Совершенствование изоляции и уменьшения токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1997. - 21 c. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСовершенствование изоляции и уменьшения токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 19.05.2008
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание21 c. : ил
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс