Ефимов, Антон Анатольевич - Технология и оборудование для ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14

Карточка

Ефимов, Антон Анатольевич.

Технология и оборудование для ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Электротехнический ун-т. - Санкт-Петербург, 2001. - 20 с.
Технология приборостроения
FB 9 01-2/3159-3
FB 9 01-2/3160-7

Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеТехнология и оборудование для ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14
Дата поступления в ЭК 22.10.2001
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЭлектротехнический ун-т
Выходные данныеСанкт-Петербург, 2001
Физическое описание20 с.
ТемаТехнология приборостроения
BBK-кодЗ843.322.408,0
Специальность05.11.14: Технология приборостроения
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 01-2/3159-3
FB 9 01-2/3160-7