Мальцев, Владимир Петрович. - Адгезия фоторезисторов и её влияние на процессы фотолитографии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2000. - 24 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Мальцев, Владимир Петрович.
Мальцев, Владимир Петрович.
Адгезия фоторезисторов и её влияние на процессы фотолитографии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2000. - 24 с. : ил.

Технология полупроводников и материалов электронной техники

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАдгезия фоторезисторов и её влияние на процессы фотолитографии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 29.10.2008
Дата поступления в ЭБ РГБ 29.09.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 2000
Физическое описание24 с. : ил
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс