Калугин, Виктор Владимирович. - Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2001. - 187 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Калугин, Виктор Владимирович.
Калугин, Виктор Владимирович.
Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2001. - 187 с. : ил.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 01-5/2991

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 02.10.2001
Дата поступления в ЭБ РГБ 17.05.2011
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 2001
Физическое описание187 с. : ил
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 01-5/2991
Электронный адрес Электронный ресурс