Калугин, Виктор Владимирович. - Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2001. - 187 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Калугин, Виктор Владимирович.
Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2001. - 187 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2001. - 187 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 01-5/2991
Описание
| Автор | Калугин, Виктор Владимирович |
|---|---|
| Заглавие | Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 02.10.2001 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 17.05.2011 |
| Каталоги | Диссертации |
| Выходные данные | Москва, 2001 |
| Физическое описание | 187 с. : ил |
| Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | OD 61 01-5/2991 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
