Добрынин, Андрей Витальевич. - Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - [Б. м.], [19--?]. - 396 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Добрынин, Андрей Витальевич.
Добрынин, Андрей Витальевич.
Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - [Б. м.], [19--?]. - 396 с. : ил.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 71 02-5/70

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФеноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 19.09.2001
Дата поступления в ЭБ РГБ 17.08.2011
Каталоги Диссертации
Выходные данные[Б. м.], [19--?]
Физическое описание396 с. : ил
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 02-5/70
Электронный адрес Электронный ресурс