Русецкий, Анатолий Максимович. - Разработка теоретических и технологических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07. - Минск, 1999. - 38 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Русецкий, Анатолий Максимович.
Русецкий, Анатолий Максимович.
Разработка теоретических и технологических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07. - Минск, 1999. - 38 с. : ил.

Оборудование производства электронной техники

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка теоретических и технологических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 22.10.2008
Дата поступления в ЭБ РГБ 29.09.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМинск, 1999
Физическое описание38 с. : ил
ТемаОборудование производства электронной техники
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс