Воробьев, Владимир Александрович. - Материаловедческие аспекты разработки материалов для толстопленочных ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 2001. - 26 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Воробьев, Владимир Александрович.
Материаловедческие аспекты разработки материалов для толстопленочных ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 2001. - 26 с.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
DSP Др 03/12

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМатериаловедческие аспекты разработки материалов для толстопленочных ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 10.06.2002
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. гос. ин-т электронной техники
Выходные данныеМосква, 2001
Физическое описание26 с.
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияDSP Др 03/12