Воробьев, Владимир Александрович. - Материаловедческие аспекты разработки материалов для толстопленочных ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 2001. - 26 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Воробьев, Владимир Александрович.
Материаловедческие аспекты разработки материалов для толстопленочных ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 2001. - 26 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
Материаловедческие аспекты разработки материалов для толстопленочных ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 2001. - 26 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
DSP Др 03/12
Описание
| Автор | Воробьев, Владимир Александрович |
|---|---|
| Заглавие | Материаловедческие аспекты разработки материалов для толстопленочных ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 10.06.2002 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Моск. гос. ин-т электронной техники |
| Выходные данные | Москва, 2001 |
| Физическое описание | 26 с. |
| Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | DSP Др 03/12 |
