Materials research society symposia proceedings [Текст]

Карточка

Экспресс-заказ фрагмента

Materials research society (US).
Materials research society symposia proceedings [Текст]. - Pittsburgh (Pa.) : Materials research soc., cop. 1984-.
Vol. 334: Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing [Текст] : Symp. held Nov. 29-Dec. 2, 1993, Boston, Massachusetts, USA / ed.: T. J. Mountziaris [et al.]. - Pittsburg (Pa.) : Materials research soc. (MRS), cop. 1994. - XV, 556 с. : ил.; 24 см.; ISBN 1-55899-233-2

Vol. 334: Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing [Текст] : Symp. held Nov. 29-Dec. 2, 1993, Boston, Massachusetts, USA / ed.: T. J. Mountziaris [et al.]. - Pittsburg (Pa.) : Materials research soc. (MRS), cop. 1994. - XV, 556 с. : ил.; 24 см
Указ.
Газовая фаза и химия поверхности в технологии получения пленок для микроэлектроники. Материалы международной конференции. Бостон (США), 1993 г.
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий -- Материалы международной конференции
газовая фаза при получении пленок - химия поверхности при получении пленок
Шифр хранения:
FB 15 84-12/73-8

Заказать в читальный зал Заказать копию фрагмента

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

LDR	02184nam#a2200349#i#4500
001	000350626
003	RuMoRGB
005	20210310155240.0
008	990505s1994####xxu##########\|100#\|\|eng#d
017	## $a И03727-8-99 $b RuMoRGB
020	## $a 1-55899-233-2
035	## $a (RuMoRGB)CURIK-0004582
040	## $a RuMoRGB $b rus $e rcr $c RuMoRGB
041	0# $a eng
044	## $a xxu
084	## $a З844.13-060.7я431(0) $2 rubbk
245	00 $a Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing $h [Текст] : $b Symp. held Nov. 29-Dec. 2, 1993, Boston, Massachusetts, USA $c ed.: T. J. Mountziaris [et al.]
260	## $a Pittsburg (Pa.) $b Materials research soc. (MRS) $c cop. 1994
300	## $a XV, 556 с. $b ил. $c 24 см
336	## $a текст (text) $b txt $2 rdacontent
337	## $a неопосредованный (unmediated) $b n $2 rdamedia
338	## $a том (volume) $b nc $2 rdacarrier
490	0# $a Materials research society symposia proceedings $v vol. 334
500	## $a Указ.
504	## $a Библиогр. в конце докл.
520	## $a Газовая фаза и химия поверхности в технологии получения пленок для микроэлектроники. Материалы международной конференции. Бостон (США), 1993 г.
650	#7 $a Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий -- Материалы международной конференции $2 rubbk
653	## $a газовая фаза при получении пленок $a химия поверхности при получении пленок
700	1# $a Mountziaris, T. J. $e ред.
773	08 $7 c2as $a Materials research society (US) $t Materials research society symposia proceedings [Текст] $d Pittsburgh (Pa.) : Materials research soc., cop. 1984- $x 0272-9172 $g Vol. 334 $w 000854754
852	## $a РГБ $b FB $j 15 84-12/73-8 $x 90
LKR	## $a UP $b 000854754 $l RSL01 $m Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing Symp. held Nov. 29-Dec. 2, 1993, Boston, Massachusetts, USA $n Materials research society symposia proceedings

Описание

Заглавие	Materials research society symposia proceedings [Текст]
Коллекции ЕЭК РГБ	Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЕЭК	05.05.1999
Каталоги	Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Выходные данные	Pittsburgh (Pa.) : Materials research soc., cop. 1984-
Том	Vol. 334: Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing [Текст] : Symp. held Nov. 29-Dec. 2, 1993, Boston, Massachusetts, USA / ed.: T. J. Mountziaris [et al.]. - Pittsburg (Pa.) : Materials research soc. (MRS), cop. 1994. - XV, 556 с. : ил.; 24 см
ISBN	ISBN 1-55899-233-2
Примечание	Указ.
	Газовая фаза и химия поверхности в технологии получения пленок для микроэлектроники. Материалы международной конференции. Бостон (США), 1993 г.
Тема	Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий -- Материалы международной конференции
	газовая фаза при получении пленок - химия поверхности при получении пленок
BBK-код	З844.13-060.7я431(0)
Язык	Английский
Места хранения	FB 15 84-12/73-8