Materials research society symposia proceedings [Текст]

Карточка

Materials research society (US).

Materials research society symposia proceedings [Текст]. - Pittsburgh (Pa.) : Materials research soc., cop. 1984-.
Vol. 334: Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing [Текст] : Symp. held Nov. 29-Dec. 2, 1993, Boston, Massachusetts, USA / ed.: T. J. Mountziaris [et al.]. - Pittsburg (Pa.) : Materials research soc. (MRS), cop. 1994. - XV, 556 c. : ил.; 24 см.; ISBN 1-55899-233-2

Vol. 334: Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing [Текст] : Symp. held Nov. 29-Dec. 2, 1993, Boston, Massachusetts, USA / ed.: T. J. Mountziaris [et al.]. - Pittsburg (Pa.) : Materials research soc. (MRS), cop. 1994. - XV, 556 c. : ил.; 24 см
Указ.
Газовая фаза и химия поверхности в технолгии получения пленок для микроэлектроники. Материалы международной конференции. Бостон (США), 1993 г.
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий -- Материалы международной конференции
газовая фаза при получении пленок - химия поверхности при получении пленок
FB 15 84-12/73-8

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

ЗаглавиеMaterials research society symposia proceedings [Текст]
Дата поступления в ЭК 05.05.1999
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Выходные данныеPittsburgh (Pa.) : Materials research soc., cop. 1984-
ТомVol. 334: Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing [Текст] : Symp. held Nov. 29-Dec. 2, 1993, Boston, Massachusetts, USA / ed.: T. J. Mountziaris [et al.]. - Pittsburg (Pa.) : Materials research soc. (MRS), cop. 1994. - XV, 556 c. : ил.; 24 см
ISBNISBN 1-55899-233-2
ПримечаниеУказ.
Газовая фаза и химия поверхности в технолгии получения пленок для микроэлектроники. Материалы международной конференции. Бостон (США), 1993 г.
ТемаМикроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий -- Материалы международной конференции
газовая фаза при получении пленок - химия поверхности при получении пленок
BBK-кодЗ844.13-060.7я431(0)
ЯзыкАнглийский
Места храненияFB 15 84-12/73-8