Roosmalen, A J van - Dry etching for VLSI

Карточка

Roosmalen, A J van.

Dry etching for VLSI / A.J. van Roosmalen, J.A.G. Baggerman, S.J.H. Brader. - New York; London : Plenum press, Cop. 1991. - XVII, 237 с. : ил.; 26 см. - (Updates in appl. physics a. electrical technology).; ISBN 0-306-43835-6
(Updates in appl. physics a. electrical technology)
FB 5:95-17/36-1
FB 801:95/589-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеDry etching for VLSI
Дата поступления в ЭК 16.11.1995
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиA.J. van Roosmalen, J.A.G. Baggerman, S.J.H. Brader
Выходные данныеNew York; London : Plenum press, Cop. 1991
Физическое описаниеXVII, 237 с. : ил.; 26 см
Серия(Updates in appl. physics a. electrical technology)
ISBNISBN 0-306-43835-6
BBK-кодЗ844.152-060.14,0
ЯзыкАнглийский
Места храненияFB 5:95-17/36-1
FB 801:95/589-1