Научные основы разработки новых технологий и технологического оборудования производства СБИС [Текст] : сб. науч. тр. / М-во общ. и проф. образования РФ. Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т); под ред. д-ра техн. наук, проф. П. Е. Кандыбы. - Москва : МИЭТ, 1998. - 243 с. : ил., табл.; 20 см.; ISBN 5-7256-0186-2 : 100 экз.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Научные основы разработки новых технологий и технологического оборудования производства СБИС [Текст] : сб. науч. тр. / М-во общ. и проф. образования РФ. Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т); под ред. д-ра техн. наук, проф. П. Е. Кандыбы. - Москва : МИЭТ, 1998. - 243 с. : ил., табл.; 20 см.; ISBN 5-7256-0186-2 : 100 экз.
Сверхбольшие интегральные схемы -- Сборник
Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие - производство - технологическое проектирование
Шифр хранения:
Сверхбольшие интегральные схемы -- Сборник
Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие - производство - технологическое проектирование
Шифр хранения:
FB 1 98-13/220-4
FB 1 98-13/221-2
Описание
Заглавие | Научные основы разработки новых технологий и технологического оборудования производства СБИС [Текст] : сб. науч. тр. |
---|---|
Коллекции ЭК РГБ | Каталог документов с 1831 по настоящее время |
Дата поступления в ЭК РГБ | 23.10.1998 |
Каталоги | Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время) |
Сведения об ответственности | М-во общ. и проф. образования РФ. Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т); под ред. д-ра техн. наук, проф. П. Е. Кандыбы |
Выходные данные | Москва : МИЭТ, 1998 |
Физическое описание | 243 с. : ил., табл.; 20 см |
ISBN | ISBN 5-7256-0186-2 : 100 экз. |
Тема | Сверхбольшие интегральные схемы -- Сборник |
Термины-указатели | Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие - производство - технологическое проектирование |
BBK-код | З844.152я43 |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 1 98-13/220-4 |
FB 1 98-13/221-2 |