Научные основы разработки новых технологий и технологического оборудования производства СБИС [Текст] : сб. науч. тр.

Экспресс-заказ фрагмента
Научные основы разработки новых технологий и технологического оборудования производства СБИС [Текст] : сб. науч. тр. / М-во общ. и проф. образования РФ. Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т); под ред. д-ра техн. наук, проф. П. Е. Кандыбы. - Москва : МИЭТ, 1998. - 243 с. : ил., табл.; 20 см.; ISBN 5-7256-0186-2 : 100 экз.

Сверхбольшие интегральные схемы -- Сборник
Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие - производство - технологическое проектирование
Шифр хранения:
FB 1 98-13/220-4
FB 1 98-13/221-2

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

ЗаглавиеНаучные основы разработки новых технологий и технологического оборудования производства СБИС [Текст] : сб. науч. тр.
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЭК РГБ 23.10.1998
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиМ-во общ. и проф. образования РФ. Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т); под ред. д-ра техн. наук, проф. П. Е. Кандыбы
Выходные данныеМосква : МИЭТ, 1998
Физическое описание243 с. : ил., табл.; 20 см
ISBNISBN 5-7256-0186-2 : 100 экз.
ТемаСверхбольшие интегральные схемы -- Сборник
Термины-указателиМикроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие - производство - технологическое проектирование
BBK-кодЗ844.152я43
ЯзыкРусский
Места храненияFB 1 98-13/220-4
FB 1 98-13/221-2