Научные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники : Межвуз. сб.

Карточка

Научные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники : Межвуз. сб. / М-во образования Рос. Федерации. Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т); Под ред. В.В. Гусева и М.Л. Минкина. - М. : МИЭТ, 2000. - 276 с. : ил.; 20 см.; ISBN 5-7256-0273-7
Микроэлектроника -- Технология производства -- Сборник
FB 1 01-9/129-X
FB 1 01-9/130-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

ЗаглавиеНаучные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники : Межвуз. сб.
Дата поступления в ЭК 16.07.2001
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиМ-во образования Рос. Федерации. Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т); Под ред. В.В. Гусева и М.Л. Минкина
Выходные данныеМ. : МИЭТ, 2000
Физическое описание276 с. : ил.; 20 см
ISBNISBN 5-7256-0273-7
ТемаМикроэлектроника -- Технология производства -- Сборник
BBK-кодЗ844.1-06я43
ЯзыкРусский
Места храненияFB 1 01-9/129-X
FB 1 01-9/130-3