Смирнова, Наталья Вячеславовна - Исследование влияния конструктивно-технологических факторов на напряженно-деформированное состояние кремниевых упругих чувствительных элементов интегральных датчиков : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14

Карточка

Смирнова, Наталья Вячеславовна.
Смирнова, Наталья Вячеславовна.

Исследование влияния конструктивно-технологических факторов на напряженно-деформированное состояние кремниевых упругих чувствительных элементов интегральных датчиков : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14. - Москва, 1996. - 21 c. : ил.
Технология приборостроения

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния конструктивно-технологических факторов на напряженно-деформированное состояние кремниевых упругих чувствительных элементов интегральных датчиков : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 28.02.2008
Дата поступления в ЭБ 19.02.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание21 c. : ил
ТемаТехнология приборостроения
Специальность05.11.14: Технология приборостроения
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс