Смирнова, Наталья Вячеславовна - Исследование влияния конструктивно-технологических факторов на напряженно-деформированное состояние кремниевых упругих чувствительных элементов интегральных датчиков : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14

Смирнова, Наталья Вячеславовна.
Экспресс-заказ фрагмента
Смирнова, Наталья Вячеславовна.
Исследование влияния конструктивно-технологических факторов на напряженно-деформированное состояние кремниевых упругих чувствительных элементов интегральных датчиков : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14. - Москва, 1996. - 21 с. : ил.

Технология приборостроения

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния конструктивно-технологических факторов на напряженно-деформированное состояние кремниевых упругих чувствительных элементов интегральных датчиков : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 28.02.2008
Дата поступления в ЭБ 19.02.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание21 с. : ил
ТемаТехнология приборостроения
Специальность05.11.14: Технология приборостроения
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс