Тышишин, Василий Васильевич - Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07

Карточка

Тышишин, Василий Васильевич.
Тышишин, Василий Васильевич.

Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07. - Москва, 1999. - 21 c. : ил.
Оборудование производства электронной техники

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 24.07.2008
Дата поступления в ЭБ 02.07.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеМосква, 1999
Физическое описание21 c. : ил
ТемаОборудование производства электронной техники
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс