Федорин, Виктор Николаевич - Исследование и разработка спектральных элипсометров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07

Федорин, Виктор Николаевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Федорин, Виктор Николаевич.
Исследование и разработка спектральных элипсометров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07. - Новосибирск, 1992. - 23 с. : ил.

Оптические и оптико-электронные приборы

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка спектральных элипсометров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 27.11.2008
Дата поступления в ЭБ 02.10.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеНовосибирск, 1992
Физическое описание23 с. : ил
ТемаОптические и оптико-электронные приборы
Специальность05.11.07: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс