Барыбин, Анатолий Андреевич - Технология интегральных схем : Конспект лекций

Экспресс-заказ фрагмента
Барыбин, Анатолий Андреевич.
Технология интегральных схем : Конспект лекций / А. А. Барыбин, М. К. Ковалева. - Ленинград : ЛЭТИ, 1980. - 56 с. : ил.; 20 см.

В надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
Пленки тонкие - Получение
Шифр хранения:
FB В 81-49/1227
FB В 81-49/1228

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеТехнология интегральных схем : Конспект лекций
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЭК РГБ 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиА. А. Барыбин, М. К. Ковалева
Выходные данныеЛенинград : ЛЭТИ, 1980
Физическое описание56 с. : ил.; 20 см.
Термины-указателиМикроэлектронные схемы интегральные - Производство
Пленки тонкие - Получение
Общие примечанияВ надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
ЯзыкРусский
Места храненияFB В 81-49/1227
FB В 81-49/1228