Юрре, Татьяна Андреевна - Химические свойства и применение фоторезистов : Конспект лекций

Экспресс-заказ фрагмента
Юрре, Татьяна Андреевна.
Химические свойства и применение фоторезистов : Конспект лекций / Т. А. Юрре, А. В. Ельцов. - Ленинград : ЛТИ, 1981. - 65 с. : ил.; 20 см.

В надзаг.: Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета
Фотолитография
Шифр хранения:
FB В 81-64/155
FB В 81-64/156

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеХимические свойства и применение фоторезистов : Конспект лекций
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЭК РГБ 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиТ. А. Юрре, А. В. Ельцов
Выходные данныеЛенинград : ЛТИ, 1981
Физическое описание65 с. : ил.; 20 см.
Термины-указателиФотолитография
Общие примечанияВ надзаг.: Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета
ЯзыкРусский
Места храненияFB В 81-64/155
FB В 81-64/156