Юрре, Татьяна Андреевна - Химические свойства и применение фоторезистов : Конспект лекций

Карточка

Юрре, Татьяна Андреевна.

Химические свойства и применение фоторезистов : Конспект лекций / Т. А. Юрре, А. В. Ельцов. - Л. : ЛТИ, 1981. - 65 с. : ил.; 20 см.
В надзаг.: Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета
Фотолитография
FB B 81-64/155
FB B 81-64/156

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеХимические свойства и применение фоторезистов : Конспект лекций
Дата поступления в ЭК 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиТ. А. Юрре, А. В. Ельцов
Выходные данныеЛ. : ЛТИ, 1981
Физическое описание65 с. : ил.; 20 см.
ПримечаниеВ надзаг.: Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета
ТемаФотолитография
ЯзыкРусский
Места храненияFB B 81-64/155
FB B 81-64/156